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激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用

来源期刊：中国稀土学报2003年增刊第1期

论文作者：苏英美胡礼中王兆阳孟庆端孙捷

关键词：ZnO薄膜; 分子束外延; 激光分子束外延;

摘要：与金属有机物化学气相沉积和磁控溅射相比, 激光分子束外延技术(L-MBE)是近年来发展的一种先进的薄膜生长技术, 在氧化锌薄膜生长的研究中因其独特的优越性显示出越来越强的竞争力.在讨论ZnO薄膜基本特性的基础上, 较为详细地论述了激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用和取得的新进展.

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苏英美¹，胡礼中¹，王兆阳¹，孟庆端¹，孙捷¹

(1.大连理工大学物理系,辽宁,大连,116023)

摘要:与金属有机物化学气相沉积和磁控溅射相比, 激光分子束外延技术(L-MBE)是近年来发展的一种先进的薄膜生长技术, 在氧化锌薄膜生长的研究中因其独特的优越性显示出越来越强的竞争力.在讨论ZnO薄膜基本特性的基础上, 较为详细地论述了激光分子束外延技术及其在氧化锌薄膜制备中的应用和取得的新进展.

关键词:ZnO薄膜; 分子束外延; 激光分子束外延;

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