粗硅的氧化精炼

来源期刊：昆明理工大学学报(自然科学版)2012年第6期

论文作者：戴永年 马文会 杨斌 刘大春 栗曼 魏钦帅

文章页码：12 - 20

关键词：多晶硅;氧化法;吹炼;等离子气;H2/O2比;

摘    要：冶金法精炼硅制多晶硅(6N),供太阳能电池使用,其成本可能较低而受到关注.冶金法中重要的一步是氧化法,它将粗硅中的杂质氧化成化合物的自由能(△G)位低的全部或部分除去,如Al、Ca、Ti、B、C等.氧化精炼硅用的方法有炉中吹炼、等离子吹炼;吹的气体有氩气、氮气、氧气、空气、H2O、CO2和氢气等.本文将研究工作和工厂实践集中归纳,力图明晰氧化法精炼硅的规律,以利于进一步深入研究和生产实践.