金属波纹管密封控制阀在多晶硅工程中的应用
来源期刊：有色设备2020年第5期
论文作者：谢冬晖
文章页码：30 - 34
关键词：金属波纹管;零泄漏;控制阀;多晶硅;
摘 要：本文主要分析控制阀采用金属波纹管密封形式的应用场景,介绍金属波纹管的类型和主要性能概念,并以国内某多晶硅企业工程中的应用为案例,对波纹管控制阀在工程中的使用效果进行了总结。
谢冬晖
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要：本文主要分析控制阀采用金属波纹管密封形式的应用场景,介绍金属波纹管的类型和主要性能概念,并以国内某多晶硅企业工程中的应用为案例,对波纹管控制阀在工程中的使用效果进行了总结。
关键词：金属波纹管;零泄漏;控制阀;多晶硅;
