硬质合金及耐磨涂层：理论设计及产品开发（Ⅲ）

邱联昌¹，许雨翔²，王少卿³，杜勇¹，郑峰¹，金展鹏¹

1. 中南大学粉末冶金国家重点实验室2. 广东工业大学机电工程学院3. 石家庄铁道大学材料科学与工程学院

摘 要：热力学和第一性原理计算在材料设计方面发挥着重要的作用,通过这些理论预测能够快速确定材料工艺-成分-结构-性能之间的关系。本文主要介绍了热力学计算在化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition,简称CVD）涂层以及第一性原理计算在物理气相沉积（Physical Vapor Deposition,简称PVD）涂层设计开发方面的应用,并以CVD TiSiN和PVD纳米多层TiAlN/ZrN新型涂层开发为例,详细阐述了热力学和第一性原理计算的具体作用。理论计算与关键实验验证相结合是提高耐磨涂层研发效率与质量的有效途径,同时也是未来新型耐磨涂层开发的发展趋势。

关键词：热力学计算;第一性原理;化学气相沉积;物理气相沉积;耐磨涂层;