背栅单层石墨烯场效应晶体管的构建及可靠性研究

郝威^1,2，郭新立^1,2，张艳娟¹，王蔚妮¹，张灵敏¹，王增梅¹，陈坚¹，于金¹

1. 东南大学材料科学与工程学院&江苏省金属高技术重点实验室2. 东南大学—张家港工业技术研究院

摘 要：采用低压化学气相沉积法(LPCVD)制备了高质量的单层石墨烯薄膜,通过湿法转移将所制备的单层石墨烯无损覆盖到两条平行粘贴在SiO2/Si衬底上的热释放胶带表面,胶带间距约500μm,进而对试样进行加热和切割,获得与SiO2/Si衬底紧密结合的石墨烯条带(约10 000μm×500μm),最后采用掩膜法在石墨烯条带上蒸镀金电极,构建成背栅石墨烯场效应晶体管。该方法简单易行,电学性能测试结果表明,石墨烯与金电极具有良好的欧姆接触,室温下,石墨烯的空穴迁移率约为735cm2/(V·s),且表现出了石墨烯所特有的双极性特征。背栅石墨烯场效应晶体管转移特性曲线表现出了滞回行为,且随着施加栅压的增大,滞回行为越来越显著,展示出高的性能可靠性。

关键词：石墨烯;场效应晶体管;滞回行为;