氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状
来源期刊：粉末冶金技术2015年第6期
论文作者：纪箴 王聪瑜 夏洋 贾成厂 张有茶 程诚 黄小泓
文章页码：460 - 464
关键词：YSZ涂层;等离子喷涂;涂层性能;
摘 要：随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础。
纪箴1，王聪瑜1，夏洋2，贾成厂1，张有茶1，程诚1，黄小泓1
1. 北京科技大学材料科学与工程学院2. 中科院微电子所
摘 要：随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础。
关键词：YSZ涂层;等离子喷涂;涂层性能;
