立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

王永清¹，杨永旺¹，万真真¹，申玉民²，刘庆学²

1. 河北大学电子信息工程学院2. 国土资源部保定矿产资源监督检测中心

摘 要：介绍了一种电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈。实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋线圈作为微电路组件主体的微型ICP激发源研究了立体螺旋线圈激发氩气的最佳结构参数:匝数为4.5匝,线圈直径为5mm,铜线直径为1mm;测得了激发源在激发氩气时的工作条件:最佳射频功率为15～20W,最佳工作气压为50～100Pa,并分析了射频功率和工作气压对于氩气谱线强度的影响。采用射频功率为15W、氩气工作气压为60Pa对空气样品进行激发,检测到氮离子、氦离子等,由此表明立体螺旋线圈微型ICP激发源对空气样品具有激发能力,并且立体螺旋线圈微型ICP激发源比平面微型ICP激发源的激发能力更强。

关键词：微型光谱仪;激发源;电感耦合等离子体;立体螺旋线圈;工作参数;