AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展

张程^1,2,3,4，代明江^2,3,4，石倩^2,3,4，代建清¹

1. 昆明理工大学材料科学与工程学院2. 广州有色金属研究院新材料研究所3. 广东省现代表面工程技术重点实验室4. 现代材料表面工程技术国家工程实验室

摘 要：掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与电学性能的研究进展,讨论了各制备工艺条件对薄膜性能的影响,分析了AZO/metal/AZO多层膜的研究现状,并对AZO薄膜的研究方向给予了展望。

关键词：AZO薄膜;磁控溅射;光电性能;AZO/metal/AZO多层膜;