类球形氧化铈的制备及抛光性能

来源期刊：稀有金属2014年第6期

论文作者：周新木 阮桑桑 彭欢 李静 李永绣

文章页码：1005 - 1010

关键词：氧化铈;类球形;合成;抛光;

摘    要：采用溶剂热法合成了粒径为200 nm左右的类球形Ce O2前驱体,在一定温度下煅烧得到抛光粉,采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）、电子衍射、激光粒度分析仪等对其进行了表征和观察;同时考察了溶剂热温度、分散剂种类和用量等因素对合成类球形Ce O2前驱体的影响,以及不同煅烧温度和煅烧时间对单晶硅片抛光性能的影响。结果表明:以氯化铈为铈源,以0.75 mol·L-1NH3·H2O为沉淀剂,乙二醇为溶剂,聚乙烯吡咯烷酮（PVP）为分散剂,搅拌30 min后得到浑浊液转移至50 ml内衬聚四氟乙烯（PTFE）反应罐中,在烘箱中于180℃反应24 h,沉淀分别用去离子水,无水乙醇各洗3次,放于60℃烘箱中烘干,得到氧化铈前驱体,经500℃煅烧2 h为D50=203 nm的类球形Ce O2粉体,粉体分散性好,配成质量分数为0.2%的抛光浆料对n（111）型单晶硅片抛光,得到较高抛光速率和超平整的抛光表面。