IN718合金表面脉冲直流PCVD法制备TiN涂层的高温耐冲蚀性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第S2期

论文作者：李梦 李世林 田鹤

文章页码：561 - 564

关键词：脉冲直流PCVD;IN718;TiN;高温耐冲蚀性能;

摘    要：以N2、TiCl4、H2气体为原料,利用脉冲直流等离子体化学气相沉积技术（Pulsed-DCPCVD）在IN718合金表面制备TiN涂层,研究涂层的微观结构及相组成,并进一步表征了涂层样品在400℃下的耐冲蚀性能。结果表明,脉冲直流PCVD法制备的涂层主要由TiN相和少量的TiO2相和Ti2N相组成,随着脉冲时间的延长,TiN涂层的致密度提高,但厚度均匀性变差。以脉冲/直流交替工艺方法制备的TiN涂层在400℃下具有较好的耐冲蚀性能。