扫描电子显微镜低真空模式的应用
来源期刊：理化检验物理分册2011年第12期
论文作者：许亚娟 项彬 宋子濂
文章页码：786 - 789
关键词：扫描电镜;低真空模式;应用;不导电样品;多孔样品;
摘 要：低真空模式是扫描电镜的一种新型观测模式,它的最大特点是可以对不导电样品直接进行观察。这样既避免了不导电样品表面由于电荷累积产生的假象,又省去了对样品表面进行导电喷镀,还有利于不导电样品其他信息的检测与分析。此外,扫描电镜低真空模式还可以对低致密度或多孔样品进行直接观察,这是高真空模式无法取代的。
许亚娟1，项彬1，宋子濂1
1. 中国铁道科学研究院金属及化学研究所
摘 要：低真空模式是扫描电镜的一种新型观测模式,它的最大特点是可以对不导电样品直接进行观察。这样既避免了不导电样品表面由于电荷累积产生的假象,又省去了对样品表面进行导电喷镀,还有利于不导电样品其他信息的检测与分析。此外,扫描电镜低真空模式还可以对低致密度或多孔样品进行直接观察,这是高真空模式无法取代的。
关键词：扫描电镜;低真空模式;应用;不导电样品;多孔样品;
