以溶胶-凝胶法PZT薄膜为驱动的微泵研制
来源期刊：材料科学与工程学报2007年第6期
论文作者：曲伟 卜丹 刘红梅 赵全亮 邱成军 曹茂盛
关键词：PZT薄膜; 溶胶-凝胶法; 各向异性刻蚀; 微泵; MEMS; PZT thin films; Sol-gel; anisotropic etching; micropump; MEMS;
摘 要：采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵.采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应.针对微泵的关键结构--复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时探讨并解决了硅各向异性刻蚀微泵的微驱动腔、单向阀的工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS技术成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微泵整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足功耗低、小型化和批量生产的要求.
曲伟1，卜丹1，刘红梅1，赵全亮2，邱成军1，曹茂盛2
(1.黑龙江大学集成电路重点实验室,黑龙江,哈尔滨,1500802;
2.北京理工大学材料科学与工程学院,北京,100081)
摘要:采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵.采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应.针对微泵的关键结构--复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时探讨并解决了硅各向异性刻蚀微泵的微驱动腔、单向阀的工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS技术成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微泵整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足功耗低、小型化和批量生产的要求.
关键词:PZT薄膜; 溶胶-凝胶法; 各向异性刻蚀; 微泵; MEMS; PZT thin films; Sol-gel; anisotropic etching; micropump; MEMS;
【全文内容正在添加中】
