原子层沉积制备铝掺杂氧化锌纳米薄膜及其光催化特性

EDYRiyanto^1,2，黄高山²，赵宇婷²，张菁³，石建军³，梅永丰²

1. 东华大学材料科学与工程学院纤维材料改性国家重点实验室2. 复旦大学材料科学系3. 东华大学理学院

摘 要：采用原子层沉积技术和多孔聚氨酯牺牲模板制备了氧化锌(ZnO)和铝掺杂氧化锌(AZO)纳米薄膜并研究了其光催化性能。首先利用原子层沉积技术,将ZnO和AZO沉积到多孔聚氨酯模板上,然后在500℃高温煅烧处理去掉牺牲模板,得到复制了多孔模板的氧化物纳米薄膜三维多孔结构。将该三维多孔结构压碎,得到片状纳米薄膜。实验结果表明,随着铝掺杂含量的提高,材料的带隙和光催化性能也相应提升。

关键词：原子层沉积;铝掺杂氧化锌;光催化;