通过激光诱导化学气相沉积来制造微碳柱的研究
来源期刊：矿冶工程2006年第4期
论文作者：李宝灵 温宗胤 周健
关键词：激光诱导化学气相沉积; 生长速度; 直径; 微碳柱;
摘 要：使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5～4.5 W,气体压力0.03～0.09 MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构.试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均生长率适随照射时间、焦点移动速度的变化规律.根据实验数据,使用焦距移动方法,生成长径比超过500的微碳柱.
李宝灵1，温宗胤1，周健1
(1.广西工学院,机械工程系,广西,柳州,545006)
摘要:使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5～4.5 W,气体压力0.03～0.09 MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构.试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均生长率适随照射时间、焦点移动速度的变化规律.根据实验数据,使用焦距移动方法,生成长径比超过500的微碳柱.
关键词:激光诱导化学气相沉积; 生长速度; 直径; 微碳柱;
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