CVD金刚石涂层硬质合金工具表面预处理新技术

来源期刊：工程科学学报2003年第5期

论文作者：苗晋琦 宋建华 赵中琴 佟玉梅 唐伟忠 吕反修

文章页码：441 - 444

关键词：两步法表面预处理;金刚石薄膜;附着力;硬质合金;

摘    要：研究了利用（KOH+K3（Fe（CN）6）+H2O和H2SO4+H2O2）两种溶液浸蚀硬质合金基体,分别选择性刻蚀WC和Co的表面预处理过程.在浸蚀过的硬质合金基体上,用强电流直流伸展电弧等离子体CVD法沉积金刚石薄膜涂层.结果表明,两步混合处理法不仅可以有效地去除硬质合金基体表面的钻,而且还显著粗化硬质合金基体表面,提高了金刚石薄膜的质量和涂层的附着力.