简介概要

低温等离子体的诊断方法

来源期刊：绝缘材料2006年第2期

论文作者：曲文波张要强刘晓东郑晓泉

关键词：等离子体; 郎缪尔探针法; 微波透射法; 光谱法;

摘要：低温等离子体是空间主要环境之一,近年来也被广泛应用于能源、航空、环境科学、国防及材料表面改性等方面.详细的分析了等离子体诊断的常用方法和适用范围,认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素,一是测量准确度(灵敏度),二是测试系统不对等离子体产生较大扰动.

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曲文波¹，张要强¹，刘晓东¹，郑晓泉¹

(1.西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室,陕西,西安,710049)

摘要:低温等离子体是空间主要环境之一,近年来也被广泛应用于能源、航空、环境科学、国防及材料表面改性等方面.详细的分析了等离子体诊断的常用方法和适用范围,认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素,一是测量准确度(灵敏度),二是测试系统不对等离子体产生较大扰动.

关键词:等离子体; 郎缪尔探针法; 微波透射法; 光谱法;

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