简介概要

钽表面离子渗氮工艺研究

来源期刊：材料热处理学报2001年第2期

论文作者：李放罗文林勤张德元付青峰曾卫军

关键词：钽; 离子渗氮; 工艺;

摘要：采用组合的二次回归正交设计方法,针对表面硬度、表面粗糙度,对钽表面离子渗氮工艺参数(气体压力、温度、氢气摩尔分数)进行了优化.根据回归结果和统计分析给出了回归方程.

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李放¹，罗文¹，林勤²，张德元²，付青峰¹，曾卫军¹

(1.江西省科学院应用物理研究所,;
2.北京科技大学理化系,)

摘要:采用组合的二次回归正交设计方法,针对表面硬度、表面粗糙度,对钽表面离子渗氮工艺参数(气体压力、温度、氢气摩尔分数)进行了优化.根据回归结果和统计分析给出了回归方程.

关键词:钽; 离子渗氮; 工艺;

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