摩擦驱动压电微位移动力模型与Simulink仿真

李博¹，陈琦²，周望¹

1. 苏州大学现代光学技术研究所江苏省先进光学制造技术重点实验室教育部/江苏省现代光学技术重点实验室2. 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

摘 要：基于光栅刻划机驱动机构（宏动--摩擦驱动、微动--压电陶瓷）建立驱动模型和动力学模型即二阶弹簧阻尼系统动力模型,通过对宏动部分与微动部分的位移输入,模拟其最终刻划刀具位移量,通过应用Matlab中Simulink部分对涉及的计算表达式进行求解,绘制刀具定位的相应仿真曲线。得到理论摩擦驱动和压电陶瓷组合（以下叫实验组合）位移曲线与常规组合（如滚珠丝杠、齿轮齿条等）运行曲线。得出实验组合位移规律性强、控制方便、能够达到设计的精度要求。

关键词：摩擦驱动;微位移;动力模型;Simulink仿真;