金刚石薄膜的发展及展望
来源期刊：超硬材料工程2020年第3期
论文作者：孔帅斐 刘一波 陈春晖
文章页码：32 - 36
关键词：金刚石薄膜;半导体;元素掺杂;超导体;
摘 要：介绍了金刚石膜在原料、预处理和制备工艺方面的技术进展,总结了行业内对金刚石膜应用领域的探索,并对其发展趋势进行了展望。
孔帅斐，刘一波，陈春晖
钢铁研究总院北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司
摘 要：介绍了金刚石膜在原料、预处理和制备工艺方面的技术进展,总结了行业内对金刚石膜应用领域的探索,并对其发展趋势进行了展望。
关键词：金刚石薄膜;半导体;元素掺杂;超导体;
