利用Ni催化型探测器测量原子氧密度
来源期刊：金属学报2004年第8期
论文作者：李美栓 多树旺
关键词：原子氧; Ni; 探测器; 原子氧密度;
摘 要：利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30min,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化.发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关.当气压从10-3Pa-10-2Pa之间变化时原子氧密度在1016-1017/m3之间变化.采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致.
李美栓1，多树旺1
(1.中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,沈阳,110016)
摘要:利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30min,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化.发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关.当气压从10-3Pa-10-2Pa之间变化时原子氧密度在1016-1017/m3之间变化.采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致.
关键词:原子氧; Ni; 探测器; 原子氧密度;
【全文内容正在添加中】
