基于共振拉曼光谱的ZnO薄膜载流子浓度提取

来源期刊：材料科学与工程学报2020年第6期

论文作者：傅聪 潘新花 陈向阳 叶志镇

文章页码：876 - 1764

关键词：ZnO;拉曼光谱;载流子浓度;

摘    要：研究了共振拉曼散射在ZnO材料载流子浓度探测方面的应用。实验发现在可见光激发下,原有模型受限于激光穿透深度和耦合模强度,并不能很好的进行ZnO薄膜的载流子浓度探测,且在紫外光激发下,1LO模的移动规律出现异常。为此,研究分析了1LO过程的产生机制,并基于级联模型理论将其异常的移动行为归因子晶体缺陷。结合2LO过程不受晶体缺陷浓度影响的特点,研究建立起了运用2LO模分析ZnO载流子浓度的方法,并对各电子浓度的ZnO样品进行测试。拟合结果发现该方法在高载流子范围(>10¹⁹ cm^-3)与霍尔结果吻合较好。