图案几何参数对硅晶圆片表面吸收率的影响
来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2011年第5期
论文作者：王爱华 蔡九菊
文章页码：687 - 690
关键词：时域有限差分法;等效介质理论;吸收率;图案晶圆片;
摘 要：利用时域有限差分法(FDTD)研究了晶圆片中SiO2沟槽尺寸变化对其表面吸收率的影响.同时利用等效介质理论(EMT)对预测结果进行了进一步解释分析.计算结果表明,次波长光栅时,EMT可以很好地预测光谱吸收率的变化;当SiO2沟槽宽度增加时腔共振效应提高了晶圆片表面的吸收率;当光栅周期与入射波长大小相当且填充比不是很小时,吸收率曲线在短波长区会出现较为强烈的震荡.
王爱华，蔡九菊
东北大学国家环境保护生态工业重点实验室
摘 要：利用时域有限差分法(FDTD)研究了晶圆片中SiO2沟槽尺寸变化对其表面吸收率的影响.同时利用等效介质理论(EMT)对预测结果进行了进一步解释分析.计算结果表明,次波长光栅时,EMT可以很好地预测光谱吸收率的变化;当SiO2沟槽宽度增加时腔共振效应提高了晶圆片表面的吸收率;当光栅周期与入射波长大小相当且填充比不是很小时,吸收率曲线在短波长区会出现较为强烈的震荡.
关键词：时域有限差分法;等效介质理论;吸收率;图案晶圆片;
