多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展

谭毅^1,2，王鹏^1,2，秦世强^1,2，姜大川^1,2，石爽^1,2，李鹏廷^1,2

1. 大连理工大学材料科学与工程学院2. 大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室

摘 要：在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳、氮、氧杂质元素,这些杂质会形成沉淀、复合体等缺陷,成为少数载流子的复合中心,缩短硅的少子寿命,从而降低硅片的太阳能转换效率。因此控制和降低铸锭中这3种杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义。阐述了碳、氮、氧元素的来源、分布,着重综述了铸锭中3种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响,总结了降低3种杂质元素含量的方法,指出了目前研究的问题,并对铸锭中这3种杂质元素的研究趋势进行了展望。

关键词：多晶硅铸锭;性能;杂质;形貌;控制;