关于高纯铜中低碳含量测定方法探究报告
来源期刊：中国金属通报2020年第5期
论文作者：刘朝方 庞欣 杨永刚 吕超 刘刚
文章页码：267 - 268
关键词：高纯铜靶材;低碳含量;测定方法;
摘 要：半导体技术的迅速发展,对于高纯金属的靶材有着很大的需求,其中高纯铜靶材受到了极大的关注,而高纯铜对于纯度的要求很高,因此高纯铜中杂质含量的测定很有必要,国际上对于高纯铜中碳含量的要求是0.0001%,对于如何准确测定高纯铜中的碳含量做了方法探究,比较了分别用丙酮和硝酸前处理的高纯铜的测试,选取了同批次不同位置的样本来进行测试,并对测试结果进行比较分析。
刘朝方1，庞欣1，杨永刚1，吕超1，刘刚2
1. 有研亿金新材料有限公司2. 北京化工大学
摘 要：半导体技术的迅速发展,对于高纯金属的靶材有着很大的需求,其中高纯铜靶材受到了极大的关注,而高纯铜对于纯度的要求很高,因此高纯铜中杂质含量的测定很有必要,国际上对于高纯铜中碳含量的要求是0.0001%,对于如何准确测定高纯铜中的碳含量做了方法探究,比较了分别用丙酮和硝酸前处理的高纯铜的测试,选取了同批次不同位置的样本来进行测试,并对测试结果进行比较分析。
关键词：高纯铜靶材;低碳含量;测定方法;
