真空退火对VO2薄膜物相及显微组织的影响
来源期刊：云南冶金2008年第1期
论文作者：俞永伟 赵昆渝 李智东
文章页码：40 - 107
关键词：真空退火;无机溶胶-凝胶法;VO2薄膜;显微组织;
摘 要：以V2O5粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了V2O5凝胶膜,先经过在空气中的热处理后再经过真空退火处理得到了以VO2为主相的薄膜。利用X射线衍射和金相显微镜对不同实验条件下得到的薄膜的物相和表面形貌进行分析,得出了VO2薄膜物相及显微组织与真空退火条件之间的关系。
俞永伟，赵昆渝，李智东
摘 要：以V2O5粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了V2O5凝胶膜,先经过在空气中的热处理后再经过真空退火处理得到了以VO2为主相的薄膜。利用X射线衍射和金相显微镜对不同实验条件下得到的薄膜的物相和表面形貌进行分析,得出了VO2薄膜物相及显微组织与真空退火条件之间的关系。
关键词：真空退火;无机溶胶-凝胶法;VO2薄膜;显微组织;
