高速生长CVD金刚石单晶及应用

来源期刊：超硬材料工程2011年第2期

论文作者：王启亮 吕宪义 成绍恒 张晴 李红东 邹广田

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关键词：高速生长;CVD;金刚石单晶;退火;金刚石工具;

摘    要：文章简要地介绍了近年来国内外CVD金刚石单晶的高速生长和应用进展。实验中采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)方法,同质外延高速生长金刚石单晶,通过改变反应腔压强、反应气氛(在CH4/H2中引入氮气N2、二氧化碳CO2、氧气O2、)等,调制单晶生长速率、质量、颜色、表面粗糙度、光谱等特性。利用高温氢等离子体进行退火,可使金刚石单晶的颜色有很大的改善。研制了CVD金刚石单晶刀具,用于金属材料的曲面镜面加工。