氮氧比对AlO_xN_y薄膜结构和光学性能的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2018年第3期
论文作者：孟建平 杜淼 刘晓鹏 付志强 郝雷
文章页码：972 - 975
关键词：AlO_xN_y薄膜;氮氧比;离子束辅助沉积;折射率;消光系数;
摘 要：以单晶硅（111）和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlOxNy薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlOxNy薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlOxNy。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlOxNy薄膜折射率减小的主要原因。
孟建平1，杜淼1，刘晓鹏1，付志强2，郝雷1
1. 北京有色金属研究总院2. 中国地质大学(北京)
摘 要：以单晶硅（111）和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlOxNy薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlOxNy薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlOxNy。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlOxNy薄膜折射率减小的主要原因。
关键词：AlO_xN_y薄膜;氮氧比;离子束辅助沉积;折射率;消光系数;
