纳米结构多层膜自蔓延连接技术的研究及其应用
来源期刊:材料导报2011年第21期
论文作者:林铁松 高丽娇 何鹏 顾小龙 黄玉东
文章页码:8 - 64
关键词:纳米结构多层膜;自蔓延;连接;
摘 要:近年来,利用纳米结构多层膜自蔓延反应瞬间放热作为局部热源实现材料连接的方式逐渐受到人们的重视,其具有反应瞬间完成、连接效率高、适用于热敏感材料并且可以避免元器件从高温冷却时产生较大的热应力等特点。介绍了纳米结构多层膜的制备方法及反应机理,并综述和分析了在陶瓷/金属互连、不锈钢器件、非晶材料的连接以及微电子芯片技术方面的应用。
林铁松1,高丽娇1,何鹏1,顾小龙2,黄玉东3
1. 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室2. 浙江省钎焊材料与技术重点实验室3. 哈尔滨工业大学化工学院
摘 要:近年来,利用纳米结构多层膜自蔓延反应瞬间放热作为局部热源实现材料连接的方式逐渐受到人们的重视,其具有反应瞬间完成、连接效率高、适用于热敏感材料并且可以避免元器件从高温冷却时产生较大的热应力等特点。介绍了纳米结构多层膜的制备方法及反应机理,并综述和分析了在陶瓷/金属互连、不锈钢器件、非晶材料的连接以及微电子芯片技术方面的应用。
关键词:纳米结构多层膜;自蔓延;连接;