简介概要

氧化物半导体甲烷传感器研究进展

来源期刊：煤炭科学技术2005年第7期

论文作者：赵宇龙丁海东孙智

关键词：甲烷; 传感器; 半导体氧化物;

摘要：介绍了氧化物半导体甲烷气体传感器的工作机理,论述了改善氧化物半导体甲烷气敏传感器性能的几种途径.采用加入催化剂、控制材料的微细结构、利用新的制备工艺和表面修饰等新方法、新技术可提高氧化物半导体甲烷气敏元件的灵敏度、选择性、响应和恢复特性、稳定性.

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赵宇龙¹，丁海东¹，孙智¹

(1.中国矿业大学,材料科学与工程学院,江苏,徐州,221008)

摘要:介绍了氧化物半导体甲烷气体传感器的工作机理,论述了改善氧化物半导体甲烷气敏传感器性能的几种途径.采用加入催化剂、控制材料的微细结构、利用新的制备工艺和表面修饰等新方法、新技术可提高氧化物半导体甲烷气敏元件的灵敏度、选择性、响应和恢复特性、稳定性.

关键词:甲烷; 传感器; 半导体氧化物;

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