快速热退火对原子层淀积铂纳米颗粒的影响

来源期刊：材料研究学报2012年第3期

论文作者：陈红兵 朱宝 陈笋 孙清清 丁士进 张卫

文章页码：255 - 260

关键词：金属材料;Pt纳米颗粒;原子层淀积;快速热退火;

摘    要：以（MeCp）Pt（CH3）3和O₂为反应源,采用原子层淀积（ALD）技术在A1₂O₃衬底上制备Pt纳米颗粒,研究了在氮气中快速热退火对Pt纳米颗粒的特性的影响。结果表明,随着退火温度从700℃升高到900℃,Pt纳米颗粒尺寸逐渐增大,颗粒之间分离愈加清晰,形貌趋向球形,但颗粒密度稍有降低。随着在800℃退火时间从15 s增加到60 s,Pt纳米颗粒的尺寸逐渐增大,尺寸分布变得更加弥散,颗粒的密度逐渐降低;其中退火15 s后的Pt纳米颗粒密度高（9.29×10★cm-2）、分布均匀、分离清晰。900℃退火后在Pt纳米颗粒中出现部分氧化态的Pt原子,其原因可能是在高温下Pt纳米颗粒与A1₂O₃薄膜之间发生了界面化学反应。