CVD高纯钛过程中杂质Mn的热力学行为分析
来源期刊：轻金属2010年第8期
论文作者：李武斌 陈肖虎 曾英 王舟 韩涛
文章页码：66 - 146
关键词：Mn;热力学;高纯钛;杂质;
摘 要：以卤化剂和海绵钛为原料,采用特殊的工艺设备,利用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛。对高纯钛设备过程中Mn的行为进行了热力学分析;在卤化源区73.15K~973.15K条件下,杂质元素Mn与I形成MnI2;在沉积区温度1400K~1650K条件下,MnI2不发生分解,可以抑制杂质元素Mn的污染;文章结合实验条件对高纯钛中的杂质Mn的污染途径做了分析。
李武斌，陈肖虎，曾英，王舟，韩涛
贵州大学材料与冶金学院
摘 要：以卤化剂和海绵钛为原料,采用特殊的工艺设备,利用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛。对高纯钛设备过程中Mn的行为进行了热力学分析;在卤化源区73.15K~973.15K条件下,杂质元素Mn与I形成MnI2;在沉积区温度1400K~1650K条件下,MnI2不发生分解,可以抑制杂质元素Mn的污染;文章结合实验条件对高纯钛中的杂质Mn的污染途径做了分析。
关键词：Mn;热力学;高纯钛;杂质;
