沉积温度及膜厚对离子镀银膜结构及摩擦学性能的影响
来源期刊：机械工程材料2007年第7期
论文作者：高晓明 翁立军 胡明 刘维民 孙嘉奕
关键词：银膜; 膜厚; 基体温度; 结构; 摩擦磨损;
摘 要：采用离子镀在不锈钢和45钢基体表面低温沉积银薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和真空摩擦试验机对低温沉积银膜的晶体结构、表面形貌和摩擦学性能进行了研究.结果表明:银膜的择优取向度随着沉积时间的延长和基体温度的降低具有明显变化;在-147℃沉积6 min条件下制备的银膜为表层具有(200)择优取向及底层为(111)择优取向的双层结构;银膜在载荷较高时也有较好的摩擦学性能.
高晓明1，翁立军1，胡明1，刘维民1，孙嘉奕1
(1.中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州,730000;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)
摘要:采用离子镀在不锈钢和45钢基体表面低温沉积银薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和真空摩擦试验机对低温沉积银膜的晶体结构、表面形貌和摩擦学性能进行了研究.结果表明:银膜的择优取向度随着沉积时间的延长和基体温度的降低具有明显变化;在-147℃沉积6 min条件下制备的银膜为表层具有(200)择优取向及底层为(111)择优取向的双层结构;银膜在载荷较高时也有较好的摩擦学性能.
关键词:银膜; 膜厚; 基体温度; 结构; 摩擦磨损;
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