四极质量分析器装配工艺研究

来源期刊：机械设计与制造2014年第5期

论文作者：吴定柱 蒋家东 易忠全 胡军

文章页码：73 - 152

关键词：四极质量分析器;手工修配;比较测量;

摘    要：四极杆质谱计是目前最成熟、应用最广泛的小型质谱计之一。四极杆质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,使离子在四极场中受到强聚焦作用而向分析器的中心轴聚焦。四极质量分析器零件主要精度误差都要求小于0.002mm,且组件平行度、位置度误差要求均小于0.004mm,传统装配方法已经很难满足精度要求。提出了一种基于手工修研的装配方法,利用该方法装配了一套150型四极质量分析器,最高装配内切圆精度误差小于0.0015mm。