传感器<薄膜件>加工工艺
来源期刊：机械设计与制造1993年第5期
论文作者：白聘修
摘 要：<正> 薄膜件是传感器的一个敏感元件,它之所以难以加工,主要是薄膜厚度为δ=0.1-0.01+0.04,δ=0.2-0.05 不好保证。况且材料为1Cr18 Ni9Ti的不导磁的不锈钢。是一种镍铬不锈钢的典型材料。在切削加工中切屑变形大,相应的切削力也大,而导热性较差。
白聘修
摘 要：<正> 薄膜件是传感器的一个敏感元件,它之所以难以加工,主要是薄膜厚度为δ=0.1-0.01+0.04,δ=0.2-0.05 不好保证。况且材料为1Cr18 Ni9Ti的不导磁的不锈钢。是一种镍铬不锈钢的典型材料。在切削加工中切屑变形大,相应的切削力也大,而导热性较差。
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