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复合光导层液晶光阀的研究

来源期刊：功能材料与器件学报2003年第3期

论文作者：韩高荣翁文剑王瑞春杜丕一于永红

关键词：液晶光阀; 柱状结构; a-Si:H/nc-Si复合薄膜; 光导层;

摘要：介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的.经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向异性,其横向电导率小于纵向电导率.用这种薄膜制成的液晶光阀其分辨率达到500lp/inch.

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韩高荣¹，翁文剑¹，王瑞春¹，杜丕一¹，于永红¹

(1.浙江大学材料系,硅材料国家重点实验室,杭州,310027)

摘要:介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的.经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向异性,其横向电导率小于纵向电导率.用这种薄膜制成的液晶光阀其分辨率达到500lp/inch.

关键词:液晶光阀; 柱状结构; a-Si:H/nc-Si复合薄膜; 光导层;

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