氧化亚锡薄膜晶体管的研究进展

邓培淼¹，宁洪龙¹，谢伟广²，刘贤哲¹，邓宇熹¹，姚日晖¹，彭俊彪¹

1. 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室2. 暨南大学广东省真空薄膜技术与新能源材料工程技术中心

摘 要：p型金属氧化物材料氧化亚锡由于其特有的光学和电学性能,使得其在催化、传感、光电器件等领域受到越来越多人的青睐。本文重点介绍了氧化亚锡在薄膜晶体管中的研究应用,薄膜晶体管作为显示器驱动面板核心部件,其在显示器中的作用至关重要。本文归纳了氧化亚锡薄膜晶体管的研究进展,对氧化亚锡微观性能分析、氧化亚锡薄膜材料制备以及晶体管制备方法等进行介绍。通过对氧化亚锡晶体结构以及电子结构进行详细介绍,探讨了氧化亚锡性能微观调控机制;并通过对氧化亚锡材料的制备以及器件的应用研究,分析了氧化亚锡薄膜晶体管所面临的器件电流开关比低的问题并展望其在互补金属氧化物半导体器件方向的前景,以期为制备稳定和环保的p型金属氧化物薄膜晶体管提供参考。

关键词：p型材料;氧化亚锡;薄膜晶体管;微观调控机制;