ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/ITO全固态电致变色器件的制备及性能研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2008年第9期
论文作者：舒远杰 王怀义 张金伟 刁训刚 武哲 王天民
关键词：液氮; 低温; 磁控溅射; 电致变色器件;
摘 要：利用磁控溅射法在不同流量的液氮低温冷却的条件下在ITO玻璃上制备WO3、LiTaO3、NiOx、ITO薄膜,5层薄膜组成ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/ITO全固态电致变色器件.采用XRD、SEM、可见光分光光度计等测试手段进行对比分析.结果发现:低温制备的WO3薄膜为非晶态结构,在可见光范围内漂白态和着色态的平均透射率差△T可以达到70%以上.LiTaO3薄膜表面的颗粒度比较小,结构致密,其厚度对整个器件的光学性能有一定影响,在可见光范围内平均透射率达到95%.在低温条件下制备的NiOx薄膜比常温沉积的薄膜会提供更多的Ni2+离子参与变色反应.该器件显示出较好的电致变色特性.
舒远杰1，王怀义2，张金伟2，刁训刚2，武哲2，王天民2
(1.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900;
2.北京航空航天大学,北京,100083)
摘要:利用磁控溅射法在不同流量的液氮低温冷却的条件下在ITO玻璃上制备WO3、LiTaO3、NiOx、ITO薄膜,5层薄膜组成ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/ITO全固态电致变色器件.采用XRD、SEM、可见光分光光度计等测试手段进行对比分析.结果发现:低温制备的WO3薄膜为非晶态结构,在可见光范围内漂白态和着色态的平均透射率差△T可以达到70%以上.LiTaO3薄膜表面的颗粒度比较小,结构致密,其厚度对整个器件的光学性能有一定影响,在可见光范围内平均透射率达到95%.在低温条件下制备的NiOx薄膜比常温沉积的薄膜会提供更多的Ni2+离子参与变色反应.该器件显示出较好的电致变色特性.
关键词:液氮; 低温; 磁控溅射; 电致变色器件;
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