制备高纯钼粉或钨粉及高纯氧化钼或氧化钨粉的方法
来源期刊：中国钼业1991年第2期
论文作者：Hiroshi Endo 胡家璜
文章页码：35 - 46
摘 要：生产高纯钼粉或钨粉的方法包括:(1)用双氧水分解钼粉或钨粉或分解氧化钼粉或氧化钨粉;(2)将所得钼或钨的水溶液与阳离子交换树脂接触;(3)浓缩该水溶液;(4)还原被浓缩的固态物。省去还原步骤(4),就可获得高纯氧化钼粉或氧化钨粉。由于用此发明的方法所制备的钼粉与钨粉及三氧化钼粉与三氧化钨粉的纯度非常高,故它们可用作制造超大规模集成电路元件的靶材料。
Hiroshi Endo，胡家璜
摘 要：生产高纯钼粉或钨粉的方法包括:(1)用双氧水分解钼粉或钨粉或分解氧化钼粉或氧化钨粉;(2)将所得钼或钨的水溶液与阳离子交换树脂接触;(3)浓缩该水溶液;(4)还原被浓缩的固态物。省去还原步骤(4),就可获得高纯氧化钼粉或氧化钨粉。由于用此发明的方法所制备的钼粉与钨粉及三氧化钼粉与三氧化钨粉的纯度非常高,故它们可用作制造超大规模集成电路元件的靶材料。
关键词：
