Fz115型区熔炉的设计及特点
来源期刊：有色设备1997年第4期
论文作者：陈应斗
文章页码：11 - 14
关键词：单晶硅;区熔炉;传动;内外轴;晶体夹持器;
摘 要：Fz115型区熔炉是八十年代末设计用于生产区熔单晶硅，有八十年代初国际先进水平的炉子。本文着重介绍该炉的技术性能，主要机构的设计，动作原理及其结构特点等。
陈应斗
北京有色冶金设计研究总院!100038
摘 要：Fz115型区熔炉是八十年代末设计用于生产区熔单晶硅，有八十年代初国际先进水平的炉子。本文着重介绍该炉的技术性能，主要机构的设计，动作原理及其结构特点等。
关键词：单晶硅;区熔炉;传动;内外轴;晶体夹持器;
