氮化硅薄膜的制备方法及主要应用
来源期刊：材料导报2004年增刊第2期
论文作者：吴健 祁康成 张化福
关键词：氮化硅薄膜; 性能; 应用; 制备方法;
摘 要：氮化硅薄膜具有优良的光电性能、绝缘耐压性能、机械性能以及钝化性能等,在光电子、微电子等大规模集成电路和半导体器件制造中有着广泛的应用.重点评述了制备氮化硅薄膜的几种常用方法,并介绍了氮化硅薄膜的主要性能及其应用.
吴健1，祁康成1，张化福1
(1.电子科技大学光电信息学院,成都,610054)
摘要:氮化硅薄膜具有优良的光电性能、绝缘耐压性能、机械性能以及钝化性能等,在光电子、微电子等大规模集成电路和半导体器件制造中有着广泛的应用.重点评述了制备氮化硅薄膜的几种常用方法,并介绍了氮化硅薄膜的主要性能及其应用.
关键词:氮化硅薄膜; 性能; 应用; 制备方法;
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