快速热处理法制备单晶硅太阳能电池
来源期刊：材料热处理学报2006年第6期
论文作者：杨德仁 倪利红 阙端麟 席珍强 花聚团
关键词：快速热处理(RTP); 硅; 太阳电池;
摘 要：利用快速热处理(Rapid Thermal Processing,RTP)技术,成功制备了单晶硅太阳电池.在三个重要的热处理环节(磷扩散制作P-N结、热氧化、电极烧结)采用了快速热处理法,电极制作采用了丝网印刷.初步研究,用大面积的单晶硅片制备出转换效率为11%、开路电压为564.6 mV、短路电流密度为30.7 mA/cm2的太阳电池.
杨德仁1，倪利红1，阙端麟1，席珍强1，花聚团1
(1.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027)
摘要:利用快速热处理(Rapid Thermal Processing,RTP)技术,成功制备了单晶硅太阳电池.在三个重要的热处理环节(磷扩散制作P-N结、热氧化、电极烧结)采用了快速热处理法,电极制作采用了丝网印刷.初步研究,用大面积的单晶硅片制备出转换效率为11%、开路电压为564.6 mV、短路电流密度为30.7 mA/cm2的太阳电池.
关键词:快速热处理(RTP); 硅; 太阳电池;
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