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扫描电镜中荷电效应的分析

来源期刊：理化检验物理分册2014年第1期

论文作者：卢慧粉宋庆军曹艳芬孙秋香

文章页码：46 - 48

关键词：扫描电子显微镜;荷电效应;二次电子;

摘要：扫描电子显微镜要得到层次清晰、立体感强且分辨率高的高质量图像,荷电效应是一个重要的影响因素。对在扫描电子显微镜成像中荷电效应的成因及其解决办法进行了系统的分析。提出采用镀膜、降低加速电压及低真空的方法,可降低荷电效应的影响。

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卢慧粉，宋庆军，曹艳芬，孙秋香

关键词：扫描电子显微镜;荷电效应;二次电子;