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铁电存储器集成工艺中关键技术研究进展

来源期刊：材料导报2006年第11期

论文作者：杨艳张树人杨成韬刘敬松

关键词：铁电薄膜; 铁电存储器; 集成工艺;

摘要：铁电薄膜与半导体集成技术相结合而发展起来的铁电存储器与传统的半导体存储器相比有很多优点,其关键集成工艺技术有铁电薄膜制备技术、电极制备、刻蚀技术、氢阻技术、金属互连技术、钝化技术.简要介绍了这些工艺技术的研究现状,并讨论了相关工艺对性能的影响.

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杨艳¹，张树人¹，杨成韬¹，刘敬松¹

(1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054)

摘要:铁电薄膜与半导体集成技术相结合而发展起来的铁电存储器与传统的半导体存储器相比有很多优点,其关键集成工艺技术有铁电薄膜制备技术、电极制备、刻蚀技术、氢阻技术、金属互连技术、钝化技术.简要介绍了这些工艺技术的研究现状,并讨论了相关工艺对性能的影响.

关键词:铁电薄膜; 铁电存储器; 集成工艺;

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