钢中夹杂物扫描电镜自动统计分析结果的影响因素探讨

来源期刊：冶金分析2018年第8期

论文作者：严春莲 尹立新 任群 孟杨 其其格 崔桂彬

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关键词：扫描电镜;分析参数;非金属夹杂物;自动统计分析;钢;

摘    要：以管线钢、车轮钢、易切削钢为研究对象,考察了利用扫描电镜（SEM）对钢中非金属夹杂物进行自动统计分析时,放大倍数、图像分辨率、采集时间及保护区设置对夹杂物分析结果的影响,并比较了不同的聚焦状态、电子束状态、衬度设置、灰度阈值时夹杂物分析结果的差异,旨在优化选择各种设备参数,提高夹杂物自动统计分析的准确度。分析结果表明:放大倍数从100、200增大到500倍,所检测到的夹杂物数量相应增加,小于2μm的夹杂物增加量占80%以上,500倍时夹杂物增加量接近200倍时的2倍,而测试时间大幅延长至200倍时的5.6倍;图像分辨率从512、1 024增大到2 048,所检测到的夹杂物数量成倍增加,小于2μm的夹杂物增加量占60%左右,而测试时间延长幅度不大;采集时间延长、设置保护区、聚集好、束流定时补偿均有助于获得更准确的夹杂物分析结果,衬度设置一般推荐Al-40、Fe-200,钢中含稀土夹杂物时采用双阈值设置。