深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格涂层的摩擦学性能

欧伊翔^1,2，王浩琦¹，庞盼¹，罗军¹，陈琳¹，廖斌²，雷明凯³，欧阳晓平^2,4

1. 北京市辐射中心北京市科学技术研究院2. 北京师范大学3. 大连理工大学4. 西北核物理研究所

摘 要：研究了IN718高温合金、WC-6%Co硬质合金和Si（100）基体上深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格涂层的摩擦学性能。研究表明,涂层的生长对基体的类型没有选择性。随着基体硬度的升高,划痕结合力失效临界载荷增大,涂层结合力失效机制由翘曲失效转变为基体/涂层协同变形,未发现涂层的剥落失效。载荷为2N时,磨损机制由磨粒磨损和氧化磨损转变为轻微磨粒磨损。载荷为4 N时,IN 718基体上涂层的磨损机制为严重的氧化磨损,WC-6%Co基体上的涂层的磨损机制为磨粒磨损和氧化磨损,氧化物的产生、堆积和转移导致摩擦系数的波动。

关键词：深振荡磁控溅射;CrN/TiN超晶格涂层;结合力;磨损;