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超薄Ti膜吸收率的尺寸效应

来源期刊：材料研究学报2001年第2期

论文作者：黄荣芳肖金泉杜昊孙超白雪东闻立时

关键词：超薄Ti膜; 吸收率; 尺寸效应;

摘要：研究了超薄Ti膜吸收率和直流电导率与薄膜厚度的关系,结果表明,超薄Ti膜的吸收率具有尺寸效应,并具有极大值,其结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因

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黄荣芳¹，肖金泉¹，杜昊¹，孙超¹，白雪东¹，闻立时¹

(1.中国科学院金属研究所)

摘要:研究了超薄Ti膜吸收率和直流电导率与薄膜厚度的关系,结果表明,超薄Ti膜的吸收率具有尺寸效应,并具有极大值,其结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因

关键词:超薄Ti膜; 吸收率; 尺寸效应;

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