基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2012年第6期

论文作者：余志明 张益豪 魏秋平 龙芬 阳泰明 刘丹瑛

文章页码：754 - 760

关键词：热丝化学气相沉积;金刚石薄膜;Ti6Al4V;形核;TiC层;

摘    要：采用热丝化学气相沉积法（HFCVD）在钛合金（Ti6Al4V）表面沉积金刚石薄膜,研究基体温度对金刚石形核的影响,及梯度降温CVD技术（即高温梯度降温形核-低温生长）对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和附着性能的影响。利用扫描电镜（SEM）、激光拉曼光谱（Raman）和维氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能。结果表明:基体温度较高时,基体表面钛原子和活性碳原子具有更高的能量,更利于活性碳原子向基体的扩散,促进碳化钛的形成,最终延长金刚石的孵化期;采用高温形核-低温生长的梯度降温法可以在550⁶00℃下沉积质量良好的金刚石薄膜;基体温度在30 min内从800℃逐渐降温至550℃后再生长7 h,所得金刚石薄膜样品具有较好的附着性能。