玻璃衬底上氮-铟共掺ZnO的制备及表征
来源期刊：材料工程2008年第10期
论文作者：邢光建 武光明 江伟 王怡 李东临 韩彬
关键词：ZnO薄膜; 超声喷雾热分解; N-In共掺杂;
摘 要：以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜.并采用X射线衍射,场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N,In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光学性能的影响.结果表明:通过氮-铟共掺杂,ZnO基薄膜具有良好的的电学性能,但是均为n型导电,与相关文献中的结果完全相反.
邢光建1，武光明1，江伟2，王怡1，李东临1，韩彬2
(1.北京石油化工学院,北京,102617;
2.北京化工大学,材料科学与工程学院,北京,100029)
摘要:以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜.并采用X射线衍射,场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N,In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光学性能的影响.结果表明:通过氮-铟共掺杂,ZnO基薄膜具有良好的的电学性能,但是均为n型导电,与相关文献中的结果完全相反.
关键词:ZnO薄膜; 超声喷雾热分解; N-In共掺杂;
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