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紫外光刻法制备图案化聚合物纳米管/线阵列的研究

来源期刊:功能材料2010年第8期

论文作者:李培栋 李晓茹 宋国君 彭智 佘希林 李建江 孙瑾

文章页码:1350 - 1352

关键词:紫外光刻技术;纳米管;纳米线;AAO模板;图案化;

摘    要:探讨了紫外光刻技术制备图案化聚合物纳米管/线阵列的方法,研究制备过程中的各种影响因素,并找到了最佳的实验条件。采用溶液浸润法,成功制备了不同图案的聚合物纳米结构阵列。溶液浓度为6%(质量分数),得到的是聚合物纳米管阵列;溶液浓度为10.0%(质量分数),得到的是聚合物纳米线阵列。

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紫外光刻法制备图案化聚合物纳米管/线阵列的研究

李培栋,李晓茹,宋国君,彭智,佘希林,李建江,孙瑾

青岛大学化学化工与环境学院

摘 要:探讨了紫外光刻技术制备图案化聚合物纳米管/线阵列的方法,研究制备过程中的各种影响因素,并找到了最佳的实验条件。采用溶液浸润法,成功制备了不同图案的聚合物纳米结构阵列。溶液浓度为6%(质量分数),得到的是聚合物纳米管阵列;溶液浓度为10.0%(质量分数),得到的是聚合物纳米线阵列。

关键词:紫外光刻技术;纳米管;纳米线;AAO模板;图案化;

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