基于柔性衬底WO₃薄膜的制备及其电致变色器件研究进展

文哲¹，王美涵¹，雷浩²，黄奕博¹，马佳玉¹，侯朝霞¹，张钧¹

1. 沈阳大学机械工程学院2. 中国科学院金属研究所

摘 要：柔性衬底具有成本低、形变能力强等优点。在柔性衬底上沉积电致变色性能优异的三氧化钨（WO₃）薄膜拓展了电致变色器件在可穿戴电子设备、防眩目眼镜和军事伪装等领域的应用。本文比较了适用于电致变色器件的不同柔性衬底;介绍了在柔性衬底上制备纳米结构WO₃薄膜的方法;综述了基于柔性衬底WO₃薄膜的电致变色性能;最后提出柔性电致变色器件现存问题及未来发展趋势。

关键词：柔性衬底;WO₃薄膜;纳米结构;电致变色性能;磁控溅射;